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真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和**高真空。
真空热处理的优势：
1、真空热处理的全过程是在真空下进行的，去掉了工件表面的磷屑，有脱脂除气的作用，可是模具钢表面光亮洁净，有效防止氧化和脱碳。
2、工件在炉内是以热辐射的方式缓慢加热的，内热温差较小，热应力小，因而变形小，仅为盐炉的三分之一。
3、真空热处理的气氛能使气体体积迅速增大，因而致使金属，合金放出溶解的气体或金属氧化物充分分解。因而对工件的塑性和韧性有所提高。并且在真空下没有氢脆危险，稳定性好。
4、真空热处理的应用范围广：不锈钢，轴承钢，模具钢，工具钢，弹簧钢等的淬火、回火、正火等。
深冷处理：
当金属在热处理加硬至冷却过程中, 其中的合金与碳产生溶解并结合及扩散形成奥氏体 ( Austenite ), 在冷却过程时, 由于低温产生压制而形成马氏体 ( Martensite ), 而由于马氏体的较终转变点 ( Mf ) 非常低, 因此淬火冷却到室温会残留大量奥氏体, 因而降低金属的硬度、耐磨性和使用寿命, 同时因为奥氏体的不稳定易发生组织转变而导致的体积变化，造成金属碎裂, 再者, 还有许多物理性能特别是热性能和磁性下降。
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